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电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5~6%,但由于其品种繁多,在半导体制程工艺中覆盖广泛,因此成为衡量半导体技术的核心产品。在制备特种气体供应环节所涉及的市场依然是国内外公司积极布局的方向。....